Tétrafluorure de silicium

	Tétrafluorure de silicium
	; Structure du tétrafluorure de silicium
Identification
Synonymes	tétrafluorosilane
No CAS	7783-61-1
No ECHA	100.029.104
No CE	232-015-5
PubChem	24556
SMILES
InChI
Apparence	gaz incolore, d'odeur acre.
Propriétés chimiques
Formule	SiF4
Masse molaire	104,079 1 ± 0,000 3 g/mol ; F 73,02 %, Si 26,98 %,
Propriétés physiques
T° fusion	−90 °C
T° ébullition	−86 °C
Solubilité	dans l'eau : réaction
Masse volumique	1,66 g·mL-1 (−95 °C, solide); 4,69 g·L-1 (0 °C, gaz)
Point critique	37,2 bar, −14,15 °C
Propriétés électroniques
1re énergie d'ionisation	15,24 ± 0,14 eV (gaz)
Cristallographie
Symbole de Pearson
Classe cristalline ou groupe d’espace	I43m (n°217)
Précautions
SGH
	; DangerH280, H314, H330, EUH071, P260, P280, P303, P304, P305, P315, P338, P340, P351, P353, P361, P403 et P405
SIMDUT
	; A, D1A, E,
NFPA 704
	0 3 2 W
Transport
	-
	1859
	Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire.
	modifier

Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium à géométrie tétraédrique et de formule SiF₄, il s'agit donc d'un halogénure de silicium (à l'instar du tétrachlorure de silicium de formule SiCl₄).

À température et pression ambiantes, ce composé se présente sous forme d'un gaz incolore. Sa plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre −90 °C et −86 °C.

Ce composé inorganique a été synthétisé pour la première fois en 1812 par le chimiste anglais John Davy^[9]^,^[3], frère du célèbre physicien et chimiste Sir Humphry Davy.

Production

Le traitement thermique de l’hexafluorosilicate de baryum (BaSiF₆) à des températures supérieures à 300 °C permet de synthétiser le tétrafluorure de silicium à l'état gazeux ainsi que du fluorure de baryum (BaF₂) en tant que résidu solide^[3].

Utilisation

En microélectronique, le tétrafluorure de silicium est utilisé :

dans le cadre de l'implantation ionique ;
en tant qu'agent de nettoyage^[3] ;
et, en conjonction avec le silane (SiH₄), pour le dépôt de silice fluorée par PECVD^[10].

Références

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